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AI算力爆发拉动磷化铟衬底走俏 国产InP单晶产能紧俏格局延续

2026年10月06日 · 行业新闻

随着800G乃至1.6T光模块在AI数据中心加速部署,作为光芯片核心衬底材料的磷化铟(InP)需求持续飙升。多家上游材料厂商反馈,2026年磷化铟衬底订单能见度已排到下半年,供需缺口仍处于较高水平,国产InP单晶与配套设备的国产化进程明显提速。

4英寸磷化铟晶圆

为什么AI光模块离不开磷化铟

磷化铟具有直接带隙、电子迁移率高、与InGaAs/InAlAs外延晶格匹配等优点,是制造DFB激光器、EML电吸收调制激光器、相干光探测器等光芯片的首选衬底。800G光模块内部集成数十甚至上百颗光芯片,1.6T时代对InP衬底的平整度、位错密度、掺杂均匀性和表面颗粒提出更严苛要求。在AI算力集群动辄数万张GPU的规模下,光模块出货量被成倍放大,需求直接传导到上游衬底。

供需缺口与国产产能爬坡

目前全球磷化铟衬底产能主要集中在少数国外厂商,国内企业通过VGF法(垂直梯度凝固法)生长InP单晶,正在逐步实现2英寸、3英寸和4英寸衬底的量产。受晶锭尺寸、良率和认证周期限制,国产InP衬底短期仍难以完全满足光模块爆发式需求,衬底价格维持高位。行业普遍判断,2026年供需缺口仍将超过七成,扩产是主旋律,光芯片厂商纷纷与衬底厂签订长期供货协议以锁定产能。

技术趋势:更大尺寸与更高均匀性

为降低单颗光芯片成本,InP衬底正从2英寸向3英寸、4英寸演进,外延片尺寸越大,单片可加工的光芯片数量越多。与此同时,对衬底微管、位错和杂质的控制要求持续提高,以降低光芯片的阈值电流和失效概率。这对长晶炉温场控制、切片加工和后道清洗设备提出了更高要求。

光模块代际升级的材料逻辑

从四百G到八百G再到一点六T,光模块的速率每提升一代,对磷化铟衬底的晶体质量要求就上一个台阶。更高的调制速率意味着激光器需要更低的阈值电流和更窄的线宽,这反过来要求衬底的位错密度、掺杂均匀性和表面颗粒控制达到更高标准。国内衬底企业通过改进梯度凝固工艺、优化切抛清洗流程,正在逐步缩小与国际领先水平的差距。可以说,光模块的每一次代际跃迁,都是对上游磷化铟材料产业链的一次整体拉动,也为国产长晶与清洗设备创造了持续的迭代机会。对国内衬底厂而言,抓住这一轮光模块升级窗口,就等于在未来数年的供应链竞争中占据了有利身位。

配套清洗设备的国产化机会

磷化铟质地偏软、易被酸碱腐蚀,清洗和加工工艺与硅片差异较大。河北中科微电子有限公司针对磷化铟衬底后道工序开发了半自动单片清洗机(型号SQX-150-5Y1D,即磷化铟清洗机),并配套VGF单晶炉、晶圆下片台、单片清洗甩干机等产品,能够为InP单晶及外延厂商提供晶体生长、晶圆下片、精密清洗与甩干的整线设备支持,助力国产InP衬底产能稳步释放,降低对进口清洗设备的依赖。

磷化铟清洗机

行业展望

展望后续,AI算力建设仍处于高速增长期,800G向1.6T升级将持续拉动InP光芯片和衬底需求。国内企业在VGF法InP单晶生长、衬底加工和精密清洗环节的进步,将决定国产衬底能否在这一轮光模块扩张中占据更多份额。配套设备的国产化不仅能降低产线投资,更能在工艺迭代中提供快速的定制化支持,帮助衬底厂快速响应下游光芯片厂商的规格变化。可以预见,谁能在衬底良率、尺寸一致性和交付周期上建立优势,谁就能在AI光模块供应链中占据先机,而国产长晶与清洗设备正是支撑这一优势的底层基础。

在AI算力长期景气的背景下,磷化铟衬底及其长晶、清洗设备的国产替代窗口已经打开。随着国产VGF单晶炉和精密清洗设备的成熟,这一替代进程有望进一步加速。如需咨询磷化铟清洗机、VGF单晶炉及配套方案,咨询热线:17177768881。

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