EFEM专用清洗甩干机

01 产品概述

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SG-8-12-2D EFEM专用清洗甩干机是一款专为设备前端模块（Equipment Front End Module，EFEM）集成配套的高洁净度晶圆清洗干燥设备，集高速离心甩干与双面氮气热风烘干于一体，兼具高效率、广兼容与低成本优势。设备通过快速更换 Chuck（甩干头），可覆盖 2~12 英寸半导体晶圆、掩膜版及各类基片的清洗干燥需求；既可独立工位单机使用，也可直接嵌入 EFEM 设备前端模块，与晶圆传输机械手、装载端口（Load Port）无缝对接，融入客户整体量产产线。

● 产品名称：EFEM专用清洗甩干机

● 产品型号：SG-8-12-2D

● 应用领域：EFEM设备前端模块 · 半导体晶圆 · 掩膜板 · 各类基片 清洗干燥工艺

● 核心特点：EFEM集成 · 高速甩干 · 双面吹气烘干 · 快速换型 · 高洁净度

01 EFEM 适配特性

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✅ 与 EFEM 设备前端模块无缝集成

标准机械接口与电气接口设计，可直接对接 EFEM 装载端口与传输机械手，支持晶圆自动上下料，满足前、后道工序自动化连线需求。

✅ SECS-GEM / SMEMA 通信（可定制）

支持上位机联机控制，可接入 EFEM 设备管理系统与产线 MES 系统，实现工艺参数远程设定、状态监控与数据追溯。

✅ 紧凑型集成设计

整机外形尺寸 450×490×660 mm，占地面积小，适配 EFEM 集成空间要求，便于产线布局与自动化改造。

✅ 外控启动 / 上位机通信

支持外部信号启动与上位机通信，可与 EFEM 机械手联动时序控制，保障自动化生产节拍。

02 结构组成与特点

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✅ 进口 PP 板机身外壳

采用进口聚丙烯板材制造，耐腐蚀、低颗粒析出，完全满足洁净室工作环境要求。

✅ 专用伺服电机驱动系统

转速范围 10~4000 RPM 无级可调：低速段均匀清洗，高速段强力离心甩干，一机两用。

✅ 工业 PLC 控制器 + 7 寸触摸屏

稳定可靠的工业级控制系统，直观可视化人机界面，操作简便，工艺参数一键设定。

✅ PFA 全氟管路系统

去离子水及氮气管路采用 PFA 全氟材质，耐化学腐蚀、低金属析出，保障高洁净度工艺环境。

✅ 双面氮气吹气烘干

正反两面独立控制氮气流量，90~120 秒彻底干燥，无水痕、无颗粒残留。

✅ 快速换型 Chuck 甩干头

按晶圆规格快速更换甩干头，2~12 英寸兼容，换型时间短，提升产线效率。