单片甩干机

1.1应用领域：单片甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，体型小运行平稳。其主要用于2-4英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。

1.2名称：单片甩干机

1.3型号：DP-4

1.4尺寸：长250mm*宽200mm*高400mm

1.5晶圆规格：2-4英寸

二、主要结构特征

2.1单片甩干机主要电机，变频器，防腐蚀外壳，甩干头，等部分组成。

2.2材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。

2.3定做高速电机，可实现最高每分钟6000转，提高甩干效率。