01产品内容
一、设备概况
1.1应用领域：半自动单片清洗机是高洁净度清洗设备, 具有药液清洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。其主要用于兼容4-12寸晶圆半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的刷洗干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
1.2名称：磷化铟半自动单片清洗机
1.3型号：SQX-150-5Y1D
二、主要结构特征
半自动单片清洗机主要伺服电机，供药系统，PLC控制器，高洁净阀门，PFA管等部分组成。
2.1材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机，可实现每分钟5-5000转，低速均匀清洗，高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式。
02技术参数
| 加工尺寸 | 兼容 2、3、4、6寸晶圆 |
|---|---|
| 单次甩干数量 | 1 片 |
| 工 位数量 （个） | 1 |
| 机台上下片方式 | 手动上下片 |
| 旋转速度 RPM / MIN | 5 - 5000rpm可设定 |
| 清洗方式 | 药液清洗 /兆声清洗/纯水清洗 |
| 药液数量 | 5种 |
| 药液喷嘴 | 上下两面 独立供液 |
| 药液槽 | 5个 10L PVDF药液槽 |
| 适用药液类型 | 冷硫酸、热硫酸、 SC1、酒精、酸性药液 |
| 药液加热 | 1种（热硫酸） |
| 供药方式 | 压控法 |
| 出药口大小 | 正面 5路外径4mm内径2mm 背面 5路外径4mm内径2mm |
| 药液流量调节 | 10路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
| 药液流量监控 | 4路（正药液4路，背药液4路） |
| DIW水冲洗 | 2路 |
| DI水流量调节 | 2路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
| DI水出口大小 | 2路 正背面外径4mm内径2mm |
| 水流量监控 | 2路（正水1路，背水1路） ） |
| 兆声水冲洗 | 1路 |
| 兆生水流量调节 | 1路 PFA手阀 10ml-1000ml/min |
| 外置配置 | 高压水枪一把 |
| 清洗 甩干时间 | 2-5 min |
| 氮气压力 | 0.15Mpa ，氮气管接口 1/4英寸 |
| 纯水 压力 | 0.3Mpa ， 管接口 3/8mm |
| 排水管 | 2路φ19mm（水 药液） |
| 排风管 | 两路 110mm/75mm |
| 显示 / 控制系统 | 7 寸触摸屏 + PLC可编程控制器 |
| 外置通讯 | TCP通讯接口可采集设备信息，能记录当前洗片流量，温度，转速，风速等关键信息。 |
| 管路材料 | PFA |
| 电源 | 220V |
| 整机功率 | 5KW |
| 外型尺寸（深 *宽*高）mm | 长 660mm*宽760mm*高1332mm |
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