单片晶圆清洗甩干机（12寸/8寸）

一、设备概况

单片晶圆甩干机是高洁净度甩干设备，具有高速甩干、快速烘干的特点，不同晶圆尺寸可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，体型小运行平稳，主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的清洗干燥工艺，具有成本低、快速应用生产等优点。

二、主要结构特征

单片清洗甩干机主要由伺服电机、PLC控制器、人机界面、高洁净阀门、PFA管、氮气加热器、防腐蚀外壳以及甩干头等部分组成。

2.1 材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境；
2.2 专用伺服电机，可实现每分钟10-5000转，低速均匀清洗，高速离心甩干；
2.3 工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式；
2.4 甩干头可根据客户需要定制，适用不同规格尺寸。