01产品内容
VGF单晶炉(晶体生长炉)采用垂直梯度凝固(VGF)工艺,主要用于2~6英寸锗单晶、砷化镓、碲锌镉等化合物晶体的生长。
一、设备概况
1.1 产品应用:主要用于2~6英寸锗单晶、砷化镓、碲锌镉等化合物晶体的生长。
1.2 产品特点:
1.2.1 工业计算机控制系统(WINDOWS系统界面,操作方便简洁);
1.2.2 关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性;
1.2.3 控温精度高,温区控温稳定性好;
1.2.4 具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能;
1.2.5 晶体生长均匀性好、重复性高。
二、主要技术参数
工作温度范围及温区配置可根据晶体材料与工艺需求定制,具体参数详见产品技术协议。
02技术参数
| 产品应用 | 主要用于2~6英寸锗单晶、砷化镓、碲锌镉等化合物晶体的生长 |
|---|---|
| 晶体生长尺寸 | 2~6英寸 |
| 控制系统 | 工业计算机控制系统(WINDOWS系统界面,操作方便简洁) |
| 关键部件 | 均采用进口,确保设备的高可靠性 |
| 控温性能 | 控温精度高,温区控温稳定性好 |
| 安全保护 | 断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 |
| 晶体质量 | 晶体生长均匀性好、重复性高 |
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