关于我们
河北中科微电子有限公司是一家专注于半导体芯片、微电子及新材料领域高端工艺设备研发、制造与销售的科技型企业。公司核心团队拥有多年半导体湿法工艺与精密装备研发经验，可独立完成从方案设计、整机制造到客户现场交付的全流程服务。
企业长期与国内科研院所、晶圆制造企业保持深度技术合作，对标进口同类设备性能，响应国产设备工艺升级需求，稳步提升自有产品技术指标。
- 主营晶圆清洗机、甩干机、检测灯等半导体湿法工艺装备
- 为光通信、第三代半导体、功率器件客户提供高性价比国产化装备
产品优势
从研发到交付，全流程自主可控，为产线稳定运行保驾护航
定制服务
自主研发生产，核心零部件国产/进口可选，交付周期短，支持非标定制，可根据客户晶圆工艺要求快速调整设备方案
安全合规
设备完全符合SEMI半导体设备安全标准，适配Class 10~1000洁净车间环境，满足晶圆厂安全规范
稳定可靠
每台设备出厂前经过72小时不间断老化测试，关键性能指标全程可追溯，精度稳定，保障产线长期无故障运行
全程服务
24小时快速响应，提供安装调试、操作培训、终身技术支持，售前/售中/售后全周期跟进
产品展示
覆盖晶圆清洗、甩干、检测及配套工具全系列半导体设备
清洗设备
全自动单片晶圆清洗机
全自动单片晶圆清洗机采用先进的清洗技术和自动化控制系统，能够在无尘环境中对单个晶圆进行高效且精确的清洗处理。该设备通常包含晶圆传输系统、化学溶液供给系统、超纯水冲洗系统、干燥系统等主要组成部分。
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清洗设备
磷化铟清洗机（半自动单片清洗机）
半自动单片清洗机是高洁净度清洗设备，具有药液清洗、高速甩干、快速烘干、效率高的特点，不同晶圆尺寸可通过快速更换甩干头来实现。主要用于兼容4-12寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的刷洗干燥工艺。
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甩干设备
EFEM专用清洗甩干机
EFEM专用清洗甩干机（SG-8-12-2D），专为设备前端模块EFEM集成配套，支持晶圆自动上下料与SECS-GEM通信，2~12英寸晶圆高速离心甩干+双面氮气烘干。
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检测设备
进口晶片强光灯（晶圆检测灯）
QG-150/QG-250 用于 SI、GaAs、Ge、玻璃等表面瑕疵检查的照明光源，微小瑕疵也可被检测出来，是高标准检测工具。用于硅片、磷化铟、砷化镓晶片外观检查，快速识别颗粒、划痕、污渍缺陷。
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为什么选择我们
自研精工 · 国产优选 —— 持续为科研院所、芯片企业、光通信、第三代半导体行业提供稳定、高精密、高性价比的国产化设备与解决方案
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01
深耕行业
核心团队拥有多年半导体湿法清洗与精密检测设备研发经验，集科研、生产、服务于一体
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02
精密可靠
每台设备出厂前经过72小时不间断老化测试，关键性能指标全程可追溯，经久耐用
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03
非标定制
支持OEM/ODM非标定制，从设备设计、生产到测试交付全流程自主完成
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04
国产替代
聚焦国产设备替代，持续迭代核心技术，满足晶圆厂国产化升级需求
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